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測量顯微鏡相比傳統顯微鏡有哪些改變

更新時間:2020-08-18      點擊次數:1248
 
  隨著自動化測量技術的發展,測量顯微鏡在傳統的基礎上有了較大的改變,主要表現在兩個方面:一是成像瞄準系統已發展為使用CCD(ChargeCoupledDevice)成像瞄準技術。所成的像通過數據線傳送到計算機并顯示出來,這種成像方式比原來在目鏡視場中所形成的圖像更加直觀清晰,大大降低了對線瞄準誤差:二是讀數裝置由原來的玻璃線紋尺變為光柵尺計數。所得的數據直接傳到計算機,通過特定的軟件程序自動評定計算。不僅消除了人員的讀數誤差,同時還大幅度地提高了測量效率。
  測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產作業線及科學研究等部門。工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360度的旋轉,亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數據處理等測量。
  MF測量顯微鏡特點可觀察清晰無閃光正像,且視場開闊。測量精度在同類設備中Z高(符合JISB7153標準)。使用經過驗證的FS光學系列高NA物鏡(長工作距離型)。金相顯微鏡和測量顯微鏡的功能相結合,提供了高分辨率觀察和高精度測量的方法。照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED燈泡或鹵素燈泡(必選)。利用可變孔徑光闌(反射/透射)可進行無衍射觀察測量。
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